Nidec尼得科双臂半导体晶片搬运机械手SR8220

尼得科双臂半导体晶片搬运机械手SR8220

 

优势：

可同时适用于2~12英寸的晶圆搬送；

可快速高精度传输与双片晶圆同取放；

应用：大气环境半导体晶片传输、EFEM、晶圆分选机、涂胶显影设备、清洗设备、检测设备等。